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产品介绍:
HCZKZ真空运动位移台是采用真空步进电机以及特殊导轨,螺杆、精密研磨的消间隙螺母,真空兼容的材料以及特殊传动装置。机械零部件由国内生产并且组装而成,可根据要求定制;适用真空度:1×10⁻5Pa,工作环境温度:-40℃~+80℃;
技术参数:
规格 |
单位 |
XVLT |
行程(可定制) |
mm |
50/100/150/200/250/300/350/400/450/500 |
整步分别率 |
mm |
0.01 |
最大速度 |
mm/s |
10 |
推荐真空环境中速度 |
mm/s |
2 |
重复定位精度 |
mm |
0.05 |
水平负载能力 |
kg |
50 |
负载力矩 |
Nm |
<20 |
轴向力 |
kg |
10 |
工作环境温度 |
℃ |
-40℃ ~ +80ºC |
适用于真空度 |
mBar |
1 x 10-7mbar |