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地址:武汉东湖新技术开发区关山二路特1号国际企业中心3栋
XYR精密直线电机平台
特性:
高精度:分辨率0.1um.重复精度1um,定位精度2um
高速度:直线导轨、峰值速度3m/s 匀速段速度波动低于0.10%
高响应:特殊设计的镂空花岗石基座和航空铝连接构件,MAX10G加速度,优异的加加速度控制
应用于:
晶圆光学探针检测、视觉高精度扫描检测、精密3D打印、LED高速焊接、激光加工、平板显示器制造、高速高精度机床。
技术参数:
行程(mm) |
X200 ,Y 400, R360 |
直线度(μm) |
X5 Y5 |
重复精度(nm) |
X±1 ,Y±1(分辨率0.1μm) |
X-Y垂直度(arc-sec) |
±5 |
R轴重复精度(acr-sec) |
±2.5 |
额定负载(kg) |
10(MAX40) |
最大加速度(m/s²) |
X15 Y8 |
X动负载(kg) |
9.48 |
匀速速度(mm/s) |
X300 Y500 |
Y动负载(kg) |
46.26 |
匀速段长度(mm) |
X186.5 Y329.69 |
总质量(kg) |
92.6 |
工作周期(ms) |
X1000 Y1700 |
外观 |
黑色阳极 |
导轨类型 |
滚柱or滚柱线轨 |
基座材质 |
XY花岗石 |