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成功案例一
双轴超精密气浮运动台

双轴超精密气浮运动台

介绍

产品特点

采用碳化硅陶瓷气浮导轨,超性能精度

速度1m/s,快速的整定时间

Y轴双驱双龙门结构,承载能力强

可选光栅或激光干涉仪位置反馈

定位精度±0.15μm,重复定位精度±75nm

优化线缆管理系统

根据需求可定制

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